基于工序过程数据,辅助分析良率波动与工序参数的关联,给出可解释的归因线索。
接入工序过程数据与良率记录,辅助分析良率波动与各工序参数、设备与批次之间的关联,并以对话方式给出可解释的归因线索。结论用于改善决策参考,需结合现场复核。
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